本申请涉及一种MOCVD尾气净化处理装置的内外燃烧结构，涉及废气处理技术领域，为了解决氨气分解时易产生氮氧化合物的问题，其包括外壳，所述外壳内设置有内壳；所述外壳与内壳之间形成第一腔体，所述第一腔体内设置为无氧气环境，所述内壳内部形成为第二腔体；所述外壳外侧壁上设置有进气管，所述进气管与第一腔体连通，所述外壳底壁连通设置有出气管；所述外壳顶壁还设置有加气管，所述加气管穿过外壳与第二腔体连通；所述外壳下方设置有重水箱，所述内壳上连通设置有出水管，所述出水管穿过外壳壳壁与重水箱连通；所述外壳上还设置有加热装置。本申请具有减少氨气分解时产生的氮氧化合物的效果。