具有防护结构的镀膜装置
授权
摘要
本实用新型公开一种具有防护结构的镀膜装置，包括镀膜腔、磁悬浮组件和防护组件，磁悬浮组件和防护组件均设置于镀膜腔内，镀膜腔可为基板提供镀膜所需的环境。磁悬浮组件包括磁悬浮轨道和移动件，移动件设置于磁悬浮轨道的下方，与磁悬浮轨道相互作用实现磁悬浮，磁悬浮组件用于输送基板至镀膜位置。防护组件包括防护罩和防护板，防护罩夹设于磁悬浮轨道和移动件之间，且罩设于移动件的上端，以此保护固定于移动件上的靶材免受从镀膜腔内壁上脱落的薄膜碎片污染，而防护板设置于防护罩的内壁靠近基板处，则可避免靶材粒子飞溅沉积于移动件上。该具有防护结构的镀膜装置能够有效阻挡沉积的薄膜脱落对基板造成的污染，提高基板的镀膜质量。
基本信息
专利标题 ：
具有防护结构的镀膜装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202123214518.X
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2021-12-20
授权号 ：
CN216514097U
授权日 ：
2022-05-13
发明人 ：
金珉九
申请人 ：
乐金显示光电科技（中国）有限公司
申请人地址 ：
广东省广州市高新技术产业开发区科学城开泰大道59号
代理机构 ：
北京品源专利代理有限公司
代理人 ：
杨雪
优先权 ：
CN202123214518.X
主分类号 ：
C23C14/34
IPC分类号 ：
C23C14/34
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/34
溅射
法律状态
2022-05-13 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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