一种晶圆清洗设备的消泡储液槽
授权
摘要
本实用新型公开了一种晶圆清洗设备的消泡储液槽，涉及晶圆清洗技术领域，包括泡沫驱赶装置、泡沫挡板组件、清洗液引流板、泡沫处理装置、清洗液存放室和储液槽体，当清洗液由进液口并通过清洗液引流板向清洗液存放室输送时，会有泡沫产生，此时，泡沫驱赶装置可对泡沫挡板组件进行驱动，使泡沫挡板组件不间断的将清洗液引流板上的泡沫驱赶至泡沫处理装置内，再由泡沫处理装置对清洗液泡沫进行消除，以减少泡沫的产生，并防止过多的泡沫回流对进液口造成影响。
基本信息
专利标题 ：
一种晶圆清洗设备的消泡储液槽
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202123218201.3
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2021-12-20
授权号 ：
CN216631973U
授权日 ：
2022-05-31
发明人 ：
陆先锋
申请人 ：
无锡颂林达科技有限公司
申请人地址 ：
江苏省无锡市锡山区鹅湖镇甘西路888号德邻工业园B3-1厂房
代理机构 ：
代理人 ：
优先权 ：
CN202123218201.3
主分类号 ：
B08B13/00
IPC分类号 ：
B08B13/00 B01D19/02 H01L21/67
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B08
清洁
B08B
一般清洁；一般污垢的防除
B08B13/00
一般用于清洁机器或设备的附件或零件
法律状态
2022-05-31 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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