一种口袋式菲林曝光机
授权
摘要

本实用新型涉及曝光机技术领域,尤其涉及一种口袋式菲林曝光机,包括机架,所述机架一侧连接有输送定位组件,所述输送定位组件用于基板的定位,所述机架的背面固定连接有导轨组件,所述导轨组件顶部的一侧传动连接有送板组件,所述机架内底壁的中部固定连接有下紫外灯箱组件,所述机架的中部固定连接有上玻璃组件。本实用新型中升降组件可带动下玻璃组件向下移动,下玻璃组件可将上菲林片吸附起,使上、下菲林片呈口袋状,通过输送定位组件可对基板进行输送定位,送板组件可将基板移送至上玻璃组件顶部的上、下菲林片之间,下紫外灯箱组件和上紫外灯箱组件可对基板进行双面曝光显影,其操作方便,自动化程度高,且提高了工作效率。

基本信息
专利标题 :
一种口袋式菲林曝光机
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202123234220.5
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2021-12-21
授权号 :
CN216647083U
授权日 :
2022-05-31
发明人 :
杨宗金魏英
申请人 :
深圳市健航光电科技有限公司
申请人地址 :
广东省深圳市宝安区松岗街道碧头社区碧头三工业区西路3号厂房201
代理机构 :
深圳市深联知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 :
李成龙
优先权 :
CN202123234220.5
主分类号 :
G03F7/20
IPC分类号 :
G03F7/20  
IPC结构图谱
G
G部——物理
G03
摄影术;电影术;利用了光波以外其他波的类似技术;电记录术;全息摄影术
G03F
图纹面的照相制版工艺,例如,印刷工艺、半导体器件的加工工艺;其所用材料;其所用原版;其所用专用设备
G03F7/00
图纹面,例如,印刷表面的照相制版如光刻工艺;图纹面照相制版用的材料,如:含光致抗蚀剂的材料;图纹面照相制版的专用设备
G03F7/20
曝光及其设备
法律状态
2022-05-31 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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