冷却处理装置
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摘要
一种冷却处理装置，包括：密闭腔室；狭槽组，包括多个依次排列设置于密闭腔室内的间隔部，相邻的间隔部之间围成狭槽，狭槽适于放置薄片，间隔部用于承接薄片且平行于薄片的面为接触面，多个狭槽沿垂直于接触面的方向依次排列；狭槽组包括与密闭腔室的内壁相对且平行于接触面的端面、以及与密闭腔室的内壁相对且垂直于接触面的侧面；气体管路，适于向密闭腔室内通入冷却气体，气体管路设置于狭槽组周围，气体管路包括：第一管路，沿平行于接触面延伸且设置于端面与密闭腔室之间，第一管路用于释放冷却气体；第二管路，位于狭槽组的侧面且沿垂直于接触面方向延伸，第二管路用于释放冷却气体。本实用新型实施例有利于提高对薄片的冷却效果。
基本信息
专利标题 ：
冷却处理装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202123251770.8
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2021-12-22
授权号 ：
CN216481831U
授权日 ：
2022-05-10
发明人 ：
章志营肖志强南艳荣张杨李楠杨文
申请人 ：
中芯北方集成电路制造（北京）有限公司
申请人地址 ：
北京市大兴区北京经济技术开发区文昌大道18号9幢
代理机构 ：
上海知锦知识产权代理事务所(特殊普通合伙)
代理人 ：
郭学秀
优先权 ：
CN202123251770.8
主分类号 ：
F25D31/00
IPC分类号 ：
F25D31/00 H01L21/67
IPC结构图谱
F
F部——机械工程；照明；加热；武器；爆破
F25
制冷或冷却；加热和制冷的联合系统；热泵系统；冰的制造或储存；气体的液化或固化
F25D
冷柜；冷藏室；冰箱；其他小类不包含的冷却或冷冻装置
F25D
冷柜；冷藏室；冰箱；其他小类不包含的冷却或冷冻装置
F25D31/00
其他冷却或冷冻设备
法律状态
2022-05-10 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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