一种晶圆清洗液废液循环利用系统
授权
摘要
本实用新型公开了一种晶圆清洗液废液循环利用系统，属于晶圆清洗设备技术领域，包括底座板和废液处理设备，还包括定量循环加注装置、输水管、定量关闭装置和储液箱，所述定量循环加注装置设置在底座板上，所述废液处理设备设置在底座板上且位于定量循环加注装置的一侧，所述储液箱设置在废液处理设备的上方，所述输水管的两端分别与储液箱的底端和废液处理设备的侧端连通，所述定量关闭装置设置在输水管内；本装置实现了清洗液废液的循环利用作业，同时实现了定量对清洗液废液进行处理，避免废液处理量大于需求量，造成资源浪费的问题。
基本信息
专利标题 ：
一种晶圆清洗液废液循环利用系统
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202123258158.3
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2021-12-20
授权号 ：
CN216631866U
授权日 ：
2022-05-31
发明人 ：
陆先锋
申请人 ：
无锡颂林达科技有限公司
申请人地址 ：
江苏省无锡市锡山区鹅湖镇甘西路888号德邻工业园B3-1厂房
代理机构 ：
代理人 ：
优先权 ：
CN202123258158.3
主分类号 ：
B08B3/14
IPC分类号 ：
B08B3/14 H01L21/67
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B08
清洁
B08B
一般清洁；一般污垢的防除
B08B3/00
使用液体或蒸气的清洁方法
B08B3/04
与液体接触的清洁
B08B3/10
对液体或被净化物体进行附加处理的，如用加热，电力，振动
B08B3/14
从清洗液里除去废物，如，披水石
法律状态
2022-05-31 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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