一种用于金刚石线锯切割的多晶硅片表面磁力研磨装置
授权
摘要
本实用新型涉及一种用于金刚石线锯切割的多晶硅片表面磁力研磨装置，包括平台，平台与升降机构连接，平台上表面固定有承载板，平台下方设有永磁铁，永磁铁与用于驱动其沿直线运动的驱动机构连接，采用本实用新型的研磨装置，工作省时省力，且研磨效果好。
基本信息
专利标题 ：
一种用于金刚石线锯切割的多晶硅片表面磁力研磨装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202123274296.0
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2021-12-23
授权号 ：
CN216577262U
授权日 ：
2022-05-24
发明人 ：
高玉飞张兴春杨春凤
申请人 ：
山东大学
申请人地址 ：
山东省济南市历下区经十路17923号
代理机构 ：
济南圣达知识产权代理有限公司
代理人 ：
任欢
优先权 ：
CN202123274296.0
主分类号 ：
B24B31/10
IPC分类号 ：
B24B31/10 B24B31/12 B24B47/00 B24B47/04 B24B1/00
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B24
磨削；抛光
B24B
用于磨削或抛光的机床、装置或工艺（用电蚀入B23H；磨料或有关喷射入B24C；电解浸蚀或电解抛光入C25F3/00；磨具磨损表面的修理或调节；磨削，抛光剂或研磨剂的进给
B24B31/00
用工件或磨料散放在滚筒内的滚磨装置或其他装置进行工件表面抛光或研磨的机床或装置；及其附件
B24B31/10
用于工件滚光的其他装置
法律状态
2022-05-24 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载
