本实用新型公开了一种半导体零部件清洗用清洗液环保回收再利用装置，包括处理箱，所述处理箱的上端设置有除油槽，且除油槽的一侧通过管道连通清洗设备排水口，所述处理箱的上端等间距设置有多个水冷除油辊，每个所述水冷除油辊的顺时针一侧均设置有油污收集槽，所述油污收集槽的上端靠近水冷除油辊的一侧设置有四氟刮板，且四氟刮板与水冷除油辊的外壁相抵，所述处理箱的右侧设置有热泵机组，通过设置的水冷除油辊和油污收集槽，便于对清洗液中的油污分离，便于清洗液的净化，通过设置的热泵机组，热泵机组能够箱水冷除油辊输出冷水的同时对净化后的清洗液进行再次加热，便于清洗液的后续再利用，更加节能环保。