一种腔体运行状态视觉监测装置
授权
摘要
本实用新型公开了一种腔体运行状态视觉监测装置，包括装置主体、开口处滑轨、升降门和相机，所述装置主体上设置有相机，所述相机通过电性连接有图像收集控制系统，所述装置主体上设置有挡板和上腔体，所述装置主体内设置有一号下腔体和二号下腔体，所述二号下腔体底部设置有气囊，所述气囊上放置有升降气缸，所述升降气缸贯穿一号下腔体连接有PIN，所述PIN上连接有晶圆，所述装置主体开口处放置有机械手。本实用新型通过装置主体内分为上腔体和下腔体两个部分，以及，气囊带动升降气缸的升降带动PIN和晶圆的升降，PIN和晶圆的运行情况能被相机实时采集，通过图像采集系统将数据收集和模板匹配，对腔体内的黑暗情况下，各个电子元件的运行监测。
基本信息
专利标题 ：
一种腔体运行状态视觉监测装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202123297750.4
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2021-12-24
授权号 ：
CN216718227U
授权日 ：
2022-06-10
发明人 ：
沈爱华
申请人 ：
无锡华瑛微电子技术有限公司
申请人地址 ：
江苏省无锡市新区震泽路18号无锡（国家）软件园鲸鱼座A幢1楼
代理机构 ：
苏州言思嘉信专利代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
安琳
优先权 ：
CN202123297750.4
主分类号 ：
G01N21/84
IPC分类号 ：
G01N21/84
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01N
借助于测定材料的化学或物理性质来测试或分析材料
G01N21/00
利用光学手段，即利用亚毫米波、红外光、可见光或紫外光来测试或分析材料
G01N21/84
专用于特殊应用的系统
法律状态
2022-06-10 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载
