本实用新型实施例涉及减振技术领域，公开了一种减振机构以及AOI设备,所述减振机构包括：底板；气浮模块，安装于所述底板；支撑模块，包括支撑板和限位组件，所述支撑板设置于所述气浮模块上，所述支撑板用于支撑待减振设备，所述限位组件固定于所述支撑板，并且所述限位组件朝所述底板延伸，所述限位组件用于限制允许所述支撑板相对于底板位移的位移量。通过上述方式，本实用新型实施例能够有效减弱地面与待减振设备的振动相互传播，保证设备的稳定性，从而保证待减振设备生产或检测的精度和稳定性。