一种自动涂胶管路及其构成的涂胶系统
授权
摘要
本实用新型公开了一种自动涂胶管路及其构成的涂胶系统，属于光刻胶技术领域，管路包括依次连接的氮气管(1)、光阻瓶(2)、回流瓶(3)和光阻喷头(4)，氮气管(1)连接在光阻瓶(2)上，光阻瓶(2)通过第一管道(5)与回流瓶(3)连接，回流瓶(3)通过第二管道(6)与光阻喷头(4)连接，第二管道(6)上设有回吸阀(7)，回吸阀(7)上连接有压缩空气阀(8)，氮气管(1)上设有氮气阀(11)，回流瓶(3)上设有排气管(9)，排气管(9)上设有排气阀(91)，该管路利用氮气加压实现自动喷涂，通过回吸组件确保喷胶时不产生气泡和胶滴落；系统实现全自动涂胶，提高工作效率，既能保证涂胶的均匀性又能节省材料。
基本信息
专利标题 ：
一种自动涂胶管路及其构成的涂胶系统
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202123336311.X
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2021-12-28
授权号 ：
CN216459844U
授权日 ：
2022-05-10
发明人 ：
王旭东
申请人 ：
成都海威华芯科技有限公司
申请人地址 ：
四川省成都市双流县西南航空港经济开发区物联大道88号
代理机构 ：
成都华风专利事务所(普通合伙)
代理人 ：
张巨箭
优先权 ：
CN202123336311.X
主分类号 ：
B05C11/10
IPC分类号 ：
B05C11/10
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B05
一般喷射或雾化；对表面涂覆流体的一般方法
B05C
一般对表面涂布流体的装置
B05C11/00
在B05C1/00至B05C9/00中没有专门列入的部件、零件及附件
B05C11/10
液体或其他流体的存贮、供给或控制，过量液体或其他流体的回收
法律状态
2022-05-10 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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