铲刀组件、退料装置以及单面抛光机
授权
摘要
本实用新型公开了一种铲刀组件、退料装置以及单面抛光机，所述铲刀组件包括：夹具，所述夹具包括在上下方向上排布的第一夹持件和第二夹持件，所述第二夹持件具有安装槽，所述第一夹持件和所述第二夹持件通过螺纹紧固件可拆卸地相连以封盖所述安装槽的敞开端；铲刀，所述铲刀包括连接板和刀体，所述连接板的一端伸入所述安装槽且抵接在所述第一夹持件和所述第二夹持件之间，所述连接板的另一端与所述刀体相连，所述连接板的上表面设有止挡部，所述止挡部适于与所述第一夹持件止挡配合。根据本实用新型的铲刀组件，铲刀组件的安装效率高，同时可避免铲刀使得晶圆背面划伤。
基本信息
专利标题 ：
铲刀组件、退料装置以及单面抛光机
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202123340206.3
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2021-12-28
授权号 ：
CN216657508U
授权日 ：
2022-06-03
发明人 ：
邵晓东沈文雷
申请人 ：
徐州鑫晶半导体科技有限公司
申请人地址 ：
江苏省徐州市金山桥开发区鑫芯路1号
代理机构 ：
代理人 ：
优先权 ：
CN202123340206.3
主分类号 ：
B24B29/00
IPC分类号 ：
B24B29/00 B24B41/04
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B24
磨削；抛光
B24B
用于磨削或抛光的机床、装置或工艺（用电蚀入B23H；磨料或有关喷射入B24C；电解浸蚀或电解抛光入C25F3/00；磨具磨损表面的修理或调节；磨削，抛光剂或研磨剂的进给
B24B29/00
有或没有使用固体或液体抛光剂并利用柔软材料或挠性材料制作的工具进行工件表面抛光的机床或装置
法律状态
2022-06-03 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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