多级传动式转架
授权
摘要
本实用新型涉及镀膜设备技术领域，提出了多级传动式转架，包括主架、转动设置在主架上的主轴，还包括设置在所述主轴上的一级公转盘，固定设置在所述主架上的一级定齿轮，还包括转动设置在所述一级公转盘上的一级自转轴组件，所述一级自转轴组件与所述一级定齿轮啮合，还包括二级公转盘、二级定齿轮及二级自转轴组件，所述二级公转盘设置在所述一级自转轴组件上，所述二级定齿轮固定设置在所述一级公转盘上，所述二级自转轴组件转动设置在所述二级公转盘上，所述二级自转轴组价与所述二级定齿轮啮合。通过上述技术方案，解决了现有技术中镀膜设备中镀膜均匀性差镀膜空间利用不合理的问题。
基本信息
专利标题 ：
多级传动式转架
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202123367323.9
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2021-12-29
授权号 ：
CN216738507U
授权日 ：
2022-06-14
发明人 ：
李飞李兰仿李兰民
申请人 ：
遵化市超越钛金设备有限公司
申请人地址 ：
河北省唐山市遵化市新店子
代理机构 ：
河北向往专利代理有限公司
代理人 ：
徐海涛
优先权 ：
CN202123367323.9
主分类号 ：
C23C14/32
IPC分类号 ：
C23C14/32 C23C14/50
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/24
真空蒸发
C23C14/32
爆炸法；蒸发及随后的气化物电离法
法律状态
2022-06-14 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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