晶圆片存储仓
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摘要

一种晶圆片存储仓,包括:存储架,所述存储架上设有多个用于供晶圆叉手从该存储架的后侧水平向前插入晶圆片或者取出晶圆片的存储格以及供中转盒和晶圆叉手进出的前后方向设置的通道,所述通道内设有用于水平放置所述中转盒的固定平台;可在所述存储架的后侧左右水平移动且升降的晶圆片取放装置,所述晶圆片取放装置包括可沿位于后端的转动中心水平摆动的第一臂、可在所述第一臂的前端水平同步摆动的第二臂、可在所述第二臂的前端水平同步摆动的固定座以及晶圆叉手,所述晶圆叉手朝前水平布置,其后端与所述固定座固定。本实用新型可以晶圆片为单位进行存料和出料,可以将指定的晶圆片取出放入中转盒中,满足后续工艺的需求,提高了生产效率。

基本信息
专利标题 :
晶圆片存储仓
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202123389030.0
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2021-12-30
授权号 :
CN216547951U
授权日 :
2022-05-17
发明人 :
林海涛赵凯梁猛姚玉鹏陈俊杰
申请人 :
上海世禹精密机械有限公司
申请人地址 :
上海市松江区九亭镇连富路1589号3幢101室
代理机构 :
上海远同律师事务所
代理人 :
许力
优先权 :
CN202123389030.0
主分类号 :
B65G1/127
IPC分类号 :
B65G1/127  B65G1/133  B65G1/04  B65G49/07  H01L21/673  
IPC结构图谱
B
B部——作业;运输
B65
输送;包装;贮存;搬运薄的或细丝状材料
B65G
运输或贮存装置,例如装载或倾卸用输送机、车间输送机系统或气动管道输送机
B65G1/00
在仓库或库房内贮存单个的或顺序布置的物件
B65G1/02
贮存装置
B65G1/04
机械的
B65G1/12
带有可在封闭环路内移动的物件支承架或支持器以便于物件的放入或取出
B65G1/127
环路限制在垂直平面内
法律状态
2022-05-17 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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