一种长方片腐蚀的设备冶具
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摘要
本实用新型公开了一种长方片腐蚀的设备冶具,属于晶片加工技术领域,包括底板,所述底板的上表面四角处均固定安装有立柱,所述立柱的顶部固定安装有顶板,几个所述立柱的之间活动安装有腐蚀盒,所述底板的上表面且于腐蚀盒的对应位置固定安装有液压杆,所述液压杆的顶端和腐蚀盒的下表面固定连接,所述顶板的上表面设置有转动组件,通过设置转动组件、液压杆和转动舱,腐蚀完成后,液压杆缩短使得腐蚀盒下降,转动舱从腐蚀盒的内侧脱离,接通驱动电机的电源,驱动电机工作带动转动轴转动,转动轴转动带动转动舱转动,通过转动舱的转动,使得转动舱内侧的晶片随着转动,使得晶片外侧的碱被甩出,达到清空转动舱内侧残留碱溶液的效果。
基本信息
专利标题 :
一种长方片腐蚀的设备冶具
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202123398407.9
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2021-12-30
授权号 :
CN216574466U
授权日 :
2022-05-24
发明人 :
罗吉如
申请人 :
深圳市晶迅捷科技有限公司
申请人地址 :
广东省深圳市宝安区航城街道黄麻布社区簕竹角鸿业工业园7栋厂房一层
代理机构 :
青海中赢知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 :
莫文新
优先权 :
CN202123398407.9
主分类号 :
B08B3/02
IPC分类号 :
B08B3/02 B08B7/00 B08B13/00
IPC结构图谱
B
B部——作业;运输
B08
清洁
B08B
一般清洁;一般污垢的防除
B08B3/00
使用液体或蒸气的清洁方法
B08B3/02
用喷射力来清洁
法律状态
2022-05-24 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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