一种硒化锌物理气相沉积用模具
授权
摘要
本实用新型实施例公开了一种硒化锌物理气相沉积用模具，包括石英材质的第一模具与第二模具，第一模具包括第一面板和第二面板，而第二模具包括第三面板和第四面板，在第一面板与第二面板的内侧壁上设置有凸台，而在第三面板与第四面板的端面设置有凹槽。凸台与凹槽可以相互卡接配合，以实现第一模具与第二模具的固定连接，形成本实用新型的硒化锌物理气相沉积用模具，而且石英的性能稳定，耐高温。本实用新型实施例公开了一种硒化锌物理气相沉积用模具，用于解决传统的沉积模具装配复杂、性能不稳定的技术问题，以降低生产成本，保证沉积产品的质量。
基本信息
专利标题 ：
一种硒化锌物理气相沉积用模具
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202123426981.0
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2021-12-31
授权号 ：
CN216585169U
授权日 ：
2022-05-24
发明人 ：
郭晨光黄雪丽尹士平陈小民王艺娜杨安
申请人 ：
安徽光智科技有限公司
申请人地址 ：
安徽省滁州市琅琊经济开发区南京路100号
代理机构 ：
北京集佳知识产权代理有限公司
代理人 ：
彭祯奇
优先权 ：
CN202123426981.0
主分类号 ：
C23C14/06
IPC分类号 ：
C23C14/06 C23C14/22
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/06
以镀层材料为特征的
法律状态
2022-05-24 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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