利用自身余热加热氮气的干式真空泵和光伏半导体设备
授权
摘要
本实用新型提供了利用自身余热加热氮气的干式真空泵和光伏半导体设备，涉及真空组件领域。该利用自身余热加热氮气的干式真空泵，其包括一级腔体、二级腔体和氮气管道，一级腔体和二级腔体固定连接以形成用于容纳转子的活动腔，一级腔体和管道腔体的接触面具有间隙，一级腔体靠近于二级腔体的接触面上开设有氮气环通槽，一级腔体设置有抽气腔体，氮气管道与氮气环通槽连通，氮气环通槽通过间隙与抽气腔体连通。其通过在一级腔体上开设氮气环通槽，并将氮气由外部通入氮气环通槽内，并利用干式真空泵本身的余热给氮气加热，达到使最终通入泵腔的氮气拥有较高的温度，无需外加热源给氮气加热，有效降低了整个工厂的用电量，降低成本。
基本信息
专利标题 ：
利用自身余热加热氮气的干式真空泵和光伏半导体设备
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202123432268.7
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2021-12-30
授权号 ：
CN216477855U
授权日 ：
2022-05-10
发明人 ：
周阳沈文武何建修周贤忠
申请人 ：
四川莱斯特真空科技有限公司
申请人地址 ：
四川省成都市天府新区新兴街道天工大道916号天科创造产业基地A4-1号
代理机构 ：
北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙)
代理人 ：
郑为光
优先权 ：
CN202123432268.7
主分类号 ：
F04C25/02
IPC分类号 ：
F04C25/02 F04C29/04
IPC结构图谱
F
F部——机械工程；照明；加热；武器；爆破
F04
液体变容式机械；液体泵或弹性流体泵
F04C
旋转活塞或摆动活塞的液体变容式机械
F04C
旋转活塞或摆动活塞的液体变容式机械
F04C25/00
适于特殊用途的弹性流体泵
F04C25/02
用于产生高真空
法律状态
2022-05-10 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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