多工位换膜旋转机构
授权
摘要
本实用新型提供多工位换膜旋转机构，包括：升降机构、旋转机构、取放膜机构和定位机构；所述旋转机构安装在所述升降机构上跟随所述升降机构一同升降，所述取放膜机构安装在所述旋转机构上跟随所述旋转机构一同旋转，所述取放膜机构用于移动晶膜；所述定位机构安装在所述旋转机构上用于多个工位的定位。本实用新型采用一套机构实现四个工位工作，实现了两个位置换膜，结构简单成本低。
基本信息
专利标题 ：
多工位换膜旋转机构
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202123442596.5
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2021-12-30
授权号 ：
CN216528788U
授权日 ：
2022-05-13
发明人 ：
唐文轩黄国洪王平
申请人 ：
深圳市微恒自动化设备有限公司
申请人地址 ：
广东省深圳市龙岗区平湖街道辅城坳社区富盛路14号B栋101、201、202、301
代理机构 ：
深圳市中科创为专利代理有限公司
代理人 ：
刘曰莹
优先权 ：
CN202123442596.5
主分类号 ：
H01L21/67
IPC分类号 ：
H01L21/67
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
法律状态
2022-05-13 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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