一种悬梁式微型加热器及气体传感器
授权
摘要
本实用新型提供了一种悬梁式微型加热器及气体传感器。该悬梁式微型加热器包括基底和形成在所述基底的上表面的加热器组件，所述基底的所述上表面开设有向所述基底内部凹陷的隔热腔体，且使得所述加热器组件悬置在所述隔热腔体的上方；所述加热器组件包括加热膜层和从所述加热膜层的外周缘向外发散形成的多个弯曲的悬臂梁，每个所述悬臂梁的一端延伸至所述上表面和所述隔热腔体的交界面，所述多个悬臂梁在所述上表面所在平面或平行于所述上表面的平面的合力为零。本实用新型方案提高了悬梁式微型加热器的机械强度以及降低了微型加热器的能耗。
基本信息
专利标题 ：
一种悬梁式微型加热器及气体传感器
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202123455047.1
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2021-12-31
授权号 ：
CN216721607U
授权日 ：
2022-06-10
发明人 ：
唐静张平平孙旭辉于彬
申请人 ：
江苏智闻智能传感科技有限公司;材料科学姑苏实验室
申请人地址 ：
江苏省苏州市昆山市前进东路88号6号楼M1A栋二楼北端
代理机构 ：
苏州高优盛知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
白莉莉
优先权 ：
CN202123455047.1
主分类号 ：
H05B3/06
IPC分类号 ：
H05B3/06 G01D5/00
法律状态
2022-06-10 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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