具有可移动插入件的等离子体剥离工具
实质审查的生效
摘要
本公开提供一种用于处理工件的等离子体处理设备。在一个示例性实施例中，用于处理工件的等离子体处理设备包括处理腔室、与处理腔室分开的等离子体腔室、以及配置为在等离子体腔室中生成等离子体的感应耦合等离子体源。该设备包括设置在处理腔室内的基座，该基座配置为支撑工件。该设备包括设置在等离子体腔室中的插入件，该插入件可移动到等离子体腔室内的一个或多个竖直位置。本公开还提供了用于处理工件的方法。
基本信息
专利标题 ：
具有可移动插入件的等离子体剥离工具
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114521284A
申请号 ：
CN202180003888.2
公开（公告）日 ：
2022-05-20
申请日 ：
2021-08-23
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
龙茂林张其群
申请人 ：
北京屹唐半导体科技股份有限公司;玛特森技术公司
申请人地址 ：
北京市大兴区北京经济技术开发区经海二路28号8幢
代理机构 ：
北京易光知识产权代理有限公司
代理人 ：
武晨燕
优先权 ：
CN202180003888.2
主分类号 ：
H01J37/32
IPC分类号 ：
H01J37/32
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01J
放电管或放电灯
H01J37/00
有把物质或材料引入使受到放电作用的结构的电子管，例如为了对其检验或加工的
H01J37/32
充气放电管
法律状态
2022-06-07 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : H01J 37/32
申请日 : 20210823
申请日 : 20210823
2022-05-20 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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