本发明公开了一种太阳能电池片栅线的缺陷检测装置和方法，所述缺陷检测装置包括：真空吸附装置、二维移动装置、底座、电子显微镜和数据处理器，所述真空吸附装置包括中空的矩形基座、真空发生装置、真空管、螺帽、调节螺栓，所述矩形基座上设有一组小孔，侧面设有一个抽气孔，真空发生装置通过真空管与抽气孔连接，矩形基座的四个角上各设有一个小孔，调节螺丝穿过小孔与螺帽相连接，调节螺丝的下端与二维移动装置相接触，所述二维移动装置包括左右移动基座、前后移动基座、x轴步进电机、y轴步进电机、步进电机驱动器和底座。同时，本发明公开了一种太阳能电池片栅线的缺陷检测方法，能够快速有效地找到栅线存在缺陷的位置。