一种脉冲阻尼器及半导体设备
授权
摘要

本发明提供了一种脉冲阻尼器及半导体设备,该脉冲阻尼器包括形成密封空腔的遮蔽壳体,以及设置于遮蔽壳体内的液体囊;密封空腔被液体囊隔离以形成体积可变的液体腔以及气体腔,遮蔽壳体设置与气体腔连通的出气阀,出气阀包括出气阀体,出气阀体形成供气体排出气体腔的出气通道及与出气通道连通的通气孔;出气阀体内置被出气通道活动收容的活动启闭组件,以通过液体流经液体囊所导致的液体腔的体积变化而触发活动启闭组件遮蔽与暴露通气孔。通过本申请,减小了液体管路系统内的液体在通过循环泵输送的过程中而产生的压力脉冲值并减弱了液体对液体管路系统的冲击,消除了水锤现象,从而在液体管路系统中通过阻尼原理,实现了对输送液体的整流。

基本信息
专利标题 :
一种脉冲阻尼器及半导体设备
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114017575A
申请号 :
CN202210007994.4
公开(公告)日 :
2022-02-08
申请日 :
2022-01-06
授权号 :
CN114017575B
授权日 :
2022-05-20
发明人 :
时新宇赵天翔王大权李旭
申请人 :
智程半导体设备科技(昆山)有限公司
申请人地址 :
江苏省苏州市昆山市玉山镇玉杨路299号3号房
代理机构 :
苏州友佳知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 :
龚心怡
优先权 :
CN202210007994.4
主分类号 :
F16L55/054
IPC分类号 :
F16L55/054  F16L55/055  
IPC结构图谱
F
F部——机械工程;照明;加热;武器;爆破
F16
工程元件或部件;为产生和保持机器或设备的有效运行的一般措施;一般绝热
F16L
管子;管接头或管件;管子、电缆或护管的支撑;一般的绝热方法
F16L
管子;管接头或管件;管子、电缆或护管的支撑;一般的绝热方法
F16L55/00
在管子或管系中使用的及与管子或管系有关的设备及备件
F16L55/04
流体中脉动和振动的阻尼装置
F16L55/045
特别适于阻止或把水击作用的影响减至最小
F16L55/05
阻尼器
F16L55/052
气体贮存器
F16L55/053
贮存器的气体被从管子内的流体分离
F16L55/054
贮存器被放在一个通过套形膜分离其的管子内或围绕该管
法律状态
2022-05-20 :
授权
2022-02-25 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : F16L 55/054
申请日 : 20220106
2022-02-08 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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