一种谐振型传感器
实质审查的生效
摘要

本文公开一种谐振型传感器,包括:与谐振振子连接的一个以上支撑锚,支撑锚包括一个以上连接件形状的结构和一个以上支撑结构;其中,连接件结构用于与谐振振子的侧壁连接;支撑锚包含的连接件结构和支撑结构一体成型,组成的形状为除矩形和梯形以外的形状。本发明实施例通过由连接件结构和支撑结构组成的非矩形和非梯形结构的支撑锚,在保持支撑锚承受应力的同时提升了支撑锚的热阻,设计实现了满足灵敏度和响应时间要求的传感器。

基本信息
专利标题 :
一种谐振型传感器
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114353958A
申请号 :
CN202210009206.5
公开(公告)日 :
2022-04-15
申请日 :
2022-01-06
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
南天翔曹昌铭马宇轩田世伟
申请人 :
清华大学
申请人地址 :
北京市海淀区清华园
代理机构 :
北京安信方达知识产权代理有限公司
代理人 :
李丹
优先权 :
CN202210009206.5
主分类号 :
G01J5/22
IPC分类号 :
G01J5/22  G01J5/34  
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量;测试
G01J
红外光、可见光、紫外光的强度、速度、光谱成分,偏振、相位或脉冲特性的测量;比色法;辐射高温测定法
G01J5/00
辐射高温测定法
G01J5/10
用电辐射检测器
G01J5/20
用对辐射敏感的电阻器,热敏电阻器或半导体
G01J5/22
电学特征
法律状态
2022-05-03 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : G01J 5/22
申请日 : 20220106
2022-04-15 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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