本发明公开了一种5N高纯液氧液氮液氩液氢联产装置，涉及液氧液氮液氩液氢联产领域，包括深冷空气分离单元，膨胀发电单元，质子膜水电解制氢单元，高纯氧液化单元，氢液化预冷单元，Claude循环氢气液化单元，深冷空气分离单元产出气态与液态工业纯氧，气态与液态高纯氮，气态与液态高纯氩。本发明采用膨胀机带发电机的模式，在空分工艺膨胀制冷环节通过发电机自产电能，实现能源回收，深冷空气分离工艺，质子膜高效制氢工艺，氢液化工艺有机结合在一起，充分利用各工艺对冷量分配，膨胀做功，高效换热，气体回收利用等技术结合，实现更绿色环保节能的综合联产，联产方式可实现各单元间使用统一控制系统进行工艺控制，实现更优化控制方式。