一种石英管清洁装置
实质审查的生效
摘要
本发明公开了一种石英管清洁装置，属于清洁装置技术领域，包括机架、支撑座、第一清洗装置、第二清洗装置和干燥装置，所述支撑座与所述机架通过连接装置连接，所述第一清洗装置、第二清洗装置、干燥装置依次设置于所述机架上方；石英管清洁装置能够对石英管进行清洁，清洁效率高。
基本信息
专利标题 ：
一种石英管清洁装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114472380A
申请号 ：
CN202210016456.1
公开（公告）日 ：
2022-05-13
申请日 ：
2022-01-07
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
王飞华许柳春许冬华
申请人 ：
浙江泓芯半导体有限公司
申请人地址 ：
浙江省衢州市柯城区航埠镇通航一路3号1幢、2幢、3幢
代理机构 ：
北京盛凡佳华专利代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
陈文丽
优先权 ：
CN202210016456.1
主分类号 ：
B08B9/023
IPC分类号 ：
B08B9/023 B08B9/027 B08B9/032 F26B21/00
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B08
清洁
B08B
一般清洁；一般污垢的防除
B08B9/00
用专门的方法或设备清洁空心物品
B08B9/02
清洁管道、管子、管子系统或管道系统
B08B9/023
清洁外表面
法律状态
2022-06-14 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : B08B 9/023
申请日 : 20220107
申请日 : 20220107
2022-05-13 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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