一种曲面检测装置
实质审查的生效
摘要

本发明实施例公开了一种曲面检测装置,该装置包括光源、椭球镜和成像系统,通过设计椭球镜为空心结构且其表面包括一狭槽,利用椭球反光碗从一个焦点出射的光经过椭球碗内表面反射之后在另一个焦点会聚的特点,将光源设置在椭球镜的长轴的第一焦点上,将待测物穿过狭槽的开口区域且设置在长轴的第二焦点上,利用光源发射的检测光线经椭球镜的内反射面反射后到达待测物的检测区域被反射后形成反射光线经狭槽出射,成像系统接收反射光线并生成检测区域表面所成的像,进而对表面缺陷进行识别,该结构具有光源能量集中、利用率高的特点,可以实现待测物的边缘弧面的明场照明,便于识别待测物的边缘表面缺陷。

基本信息
专利标题 :
一种曲面检测装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114324365A
申请号 :
CN202210022328.8
公开(公告)日 :
2022-04-12
申请日 :
2022-01-10
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
田依杉兰艳平
申请人 :
合肥御微半导体技术有限公司
申请人地址 :
安徽省合肥市高新区华佗巷469号品恩科技园1号楼
代理机构 :
北京品源专利代理有限公司
代理人 :
赵翠香
优先权 :
CN202210022328.8
主分类号 :
G01N21/88
IPC分类号 :
G01N21/88  G01N21/95  G01N21/01  
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量;测试
G01N
借助于测定材料的化学或物理性质来测试或分析材料
G01N21/00
利用光学手段,即利用亚毫米波、红外光、可见光或紫外光来测试或分析材料
G01N21/84
专用于特殊应用的系统
G01N21/88
测试瑕疵、缺陷或污点的存在
法律状态
2022-04-29 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : G01N 21/88
申请日 : 20220110
2022-04-12 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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