一种基于游标效应的片上折射率与温度双参量传感器
实质审查的生效
摘要
本发明涉及一种基于游标效应的片上折射率与温度双参量传感器，包括两个跑道型亚波长光栅波导微环(传感微环)和一个跑道型普通微环(参考微环)。由单个亚波长光栅传感微环和一个参考微环组成的级联双环折射率传感器，提高了单个微环结构折射率传感器的灵敏度，并且利用游标效应有效地将折射率微小的变化转换为较大的谐振峰偏移量。本发明的折射率传感器将同等折射率变化引起的微环谐振峰偏移量放大了10倍以上，实现了折射率传感灵敏度7061nm/RIU。在级联双环结构基础上，本发明设计了由双传感环和一个参考环构成的基于游标效应的双参量传感器，首次实现了高灵敏度的折射率和温度双参量同时测量，且可以同时大幅度地提高折射率和温度传感的灵敏度。
基本信息
专利标题 ：
一种基于游标效应的片上折射率与温度双参量传感器
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114543873A
申请号 ：
CN202210026049.9
公开（公告）日 ：
2022-05-27
申请日 ：
2022-01-11
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
刘力胡志豪
申请人 ：
中国地质大学（武汉）
申请人地址 ：
湖北省武汉市洪山区鲁磨路388号
代理机构 ：
武汉知产时代知识产权代理有限公司
代理人 ：
魏波
优先权 ：
CN202210026049.9
主分类号 ：
G01D21/02
IPC分类号 ：
G01D21/02 G01D11/00 G02B6/293
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01D
非专用于特定变量的测量；不包含在其他单独小类中的测量两个或多个变量的装置；计费设备；非专用于特定变量的传输或转换装置；未列入其他类目的测量或测试
G01D21/00
未列入其他类目的测量或测试
G01D21/02
用不包括在其他单个小类中的装置来测量两个或更多个变量
法律状态
2022-06-14 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : G01D 21/02
申请日 : 20220111
申请日 : 20220111
2022-05-27 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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