本发明的反光镜柔性调节装置，属于集成电路装备的技术领域，至少解决现有技术中安装反光镜的方式，致使反光镜的镜片中心易变动的技术问题。包括顶板、底板、柔性铰链结构和驱动件，所述顶板的顶面嵌入有反光镜；近邻所述反光镜位置处安装所述驱动件，且，所述驱动件一端穿过所述顶板并与所述底板接触，另一端伸出所述顶板留有伸出段；所述柔性铰链结构的两端分别与所述顶板和底板连接，其中：所述驱动件转动时，带动所述顶板绕所述驱动件转动，在柔性铰链结构的作用下，反光镜的中心点保持相对位置不变。