本发明公开了一种微波等离子废气净化方法及装置，涉及废气净化技术领域，包括以下步骤：吸附，将含有吸附材料的传送带穿过容纳有有机废气的吸附室，使得有机吸附于吸附材料上；脱附，将吸附有有机气体的传送带穿过设置有加热装置的脱附室，使得有机气体从吸附材料上析出；冷却，将脱附后的传送带穿过设置有冷却装置的冷却室，使得传送带冷却；将冷却后的传送带穿过吸附室，重复吸附、脱附、冷却步骤；净化，析出的有机气体进入到设置有微波等离子发生器的净化室，使得有机气体与微波等离子发生器产生的高能活性物质发生氧化反应后排出；传送带上的吸附材料通过冷却室中的冷却装置降温后传输回吸附室，便于再次通过吸附材料吸附废气中的有机气体。