本发明提供了一种利用臭氧发生器余热汽化液氧的方法及系统，液氧储罐内的液氧，通过输送管道，经液氧进口进入臭氧发生器罐体内的盘管，盘管吸收冷却水室内冷却水的热量，将液氧汽化生成气态的氧气，氧气经氧气出口流入氧气减压阀减压；减压后的氧气进入臭氧发生器罐体内的第一空间内，进入臭氧管，氧气经高频高压电晕放电生成臭氧气体，臭氧气体由臭氧管的另一端进入第二空间，第二空间内的臭氧经臭氧出口输出。本发明利用臭氧发生器工作时产生的余热来汽化液氧，使液氧汽化成气态氧气供臭氧发生器使用，这样既能使液氧得到较好的汽化，又能使臭氧发生器得到冷却，节省了液氧汽化所需要的汽化器，又节省一部分臭氧发生器降温所需冷却水能耗。