本申请公开了一种加工装置及利用加工装置对待加工件进行加工的方法。加工装置包括：第一加工件、第二加工件和弹性件。第一加工件用于承载待加工件。第二加工件位于第一加工件上方，第二加工件能够朝第一加工件移动，并施加压力以加工待加工件。弹性件位于第一加工件与第二加工件之间，在压力消失后，弹性件提供弹性力以使第二加工件与第一加工件分离。本申请实施方式的加工装置及利用加工装置对待加工件进行加工的方法保证了第二加工件在加工完待加工件的第一时间，便会远离待加工件，减少了第二加工件与待加工件的接触时间，从而保证待加工件不会粘黏在第二加工件上，以提高加工待加工件的良品率。