一种多级压力快速烧结炉及其使用工艺
实质审查的生效
摘要

本发明公开了一种多级压力快速烧结炉及其使用工艺,涉及冶金技术及芯片封装互连技术领域。本发明的的多级压力快速烧结炉摒弃了传统烧结炉使用抽气装置抽除炉内空气,创新性地提出了通过液压系统直接往烧结炉内通液压油的方式排除烧结炉内空气的方法,通过使用液体(液压油)作为力传导介质不仅可以使样品承受稳定压力,避免加压过程中样品烧结层的破坏,且液体的导热率远远大于气体,能实现炉内快速升温,且本发明的多级压力快速烧结炉可灵活放置多个工作台,能够实现同时对多个样品进行烧结,并且通过节流阀,能使多个液压腔的压力从上至下依次递减,从而实现了对不同压力需求的多样品进行多级压力快速烧结。

基本信息
专利标题 :
一种多级压力快速烧结炉及其使用工艺
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114353528A
申请号 :
CN202210037183.9
公开(公告)日 :
2022-04-15
申请日 :
2022-01-13
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
张昱吴松刘强崔成强杨冠南钟克菊曹秀华
申请人 :
广东工业大学;广东风华高新科技股份有限公司
申请人地址 :
广东省广州市越秀区东风东路729号
代理机构 :
佛山市禾才知识产权代理有限公司
代理人 :
梁永健
优先权 :
CN202210037183.9
主分类号 :
F27D1/10
IPC分类号 :
F27D1/10  F27D5/00  F27D7/06  F27D9/00  F27D21/00  
IPC结构图谱
F
F部——机械工程;照明;加热;武器;爆破
F27
炉;窑;烘烤炉;蒸馏炉
F27D
一种以上的炉通用的炉、窑、烘烤炉或蒸馏炉的零部件或附件
F27D
一种以上的炉通用的炉、窑、烘烤炉或蒸馏炉的零部件或附件
F27D1/00
外壳;衬炉;壁;炉顶
F27D1/10
整体炉衬;其所用支架
法律状态
2022-05-03 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : F27D 1/10
申请日 : 20220113
2022-04-15 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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