本发明公开了一种晶片掩膜工装用物料自动分离装置及其分离方法，涉及晶片掩膜技术领域；为了解决难以稳定将石英晶片分离出来的问题；本装置具体包括安装板和进料板，所述安装板一侧外壁固定有弹性伸缩杆，安装板底部外壁滑动连接有导向杆，导向杆底部外壁固定有支撑架，弹性伸缩杆一侧外壁固定有筛分框，筛分框一侧外壁设置有推动机构；石英晶片的分离方法包括如下步骤：将待分离的石英晶片放入进料板，随后启动进料板、步进电机和传送板。本发明再通过筛分框对石英晶片进行稳定筛分的同时，可以避免石英晶片在筛分时从筛分框内掉出，同时避免筛分框内部发生阻塞和石英晶片卡在筛分孔内壁的情况出现，提高了物料的分离效率。