本发明提供半导体检测相机模组安装校准装置，包括柔性铰，第一部分固接于第一光路装置，且第一光路装置具有第一坐标系；其第二部分固接于第二光路装置，且第二光路装置具有与待检测样品平台一致的第二坐标系，第二坐标系与第一坐标系之间具有偏差δ，第一部分和第二部分之间设有鱼眼接头连接单元，用于实现偏差δ的精准调节。本发明还提供半导体检测相机模组安装校准方法以及用途。本发明可以精确调节安装上的偏差，不仅提高相机与运动台坐标系校准的精度，降低了通过图像识别来进行坐标系偏离误差补偿的难度；同时还大大降低了对整机各模块设计中安装定位精度的要求，从而为晶圆预对准步骤提供了精度保障。