本申请属于半导体加工技术领域，具体涉及一种激光传感器位置调整装置。该位置调整装置的第一连接件包括固定连接的第一连接板以及第二连接板，第一连接板沿第一方向设置，第一连接板可沿第一方向移动地连接在载体上，第二连接板沿第二方向设置，第二方向和第一方向垂直，第二连接件固定连接的第三连接板以及第四连接板，第三连接板可绕第一转轴摆动并锁定地连接在第二连接板上，第一转轴沿第一方向设置，第四连接板沿第三方向设置，第三方向均和第一方向以及第二方向垂直，激光传感器可绕第二转轴摆动并锁定地连接在第四连接板上，第二转轴沿第二方向设置。本申请可调整激光传感器在载体上的安装位置，使激光传感器的使用角度可调，提高晶圆侦测的可靠性以及通用性，具有很好的实用价值。