本发明提供的一种用于晶圆输送的中转装置，包括：支撑架的顶部设有用于限制晶圆上下通行的容置空间；容置空间内设有用于承托晶圆的第一载片台和第二载片台，第一载片台与第二载片台上下间隔设置；容置空间的周向上开设有适于晶圆水平通行的输送口，输送口包括用于朝向第一抛光、清洗系统设置的第一输送口、用于朝向第二抛光、清洗系统设置的第二输送口以及用于朝向EFEM设置的第三输送口。本发明中的容置空间限制晶圆的上下通行，容置空间周向的三个输送口来限定晶圆的输送路径；上下间隔设置的第一载片台和第二载片台均有各自对接的输送口；上下间隔的两层晶圆能够经各自对应的输送口、独立中转运行，以配合两条并行的系统同时运作。