本发明公开了一种晶圆分段式流场清洗系统，包括晶圆清洗槽、氮气加热装置、异丙醇加热装、混合装置及缓冲回流装置，所述氮气加热装置连接氮气输送管道，所述异丙醇加热装置连接异丙醇输送管道，所述晶圆清洗槽的顶部设置有上盖舱体，所述氮气输送管道、所述异丙醇输送管道与上盖舱体连通，所述混合装置用于混合异丙醇与氮气，所述混合装置与所述缓冲回流装置通过循环管路连通用于实现异丙醇的供应回流与输出，所述晶圆清洗槽的内部承载有晶圆，所述晶圆清洗槽的底部设置有液体排放口与气体排放口。本发明在混合装置内设置加热装置控制异丙醇与氮气混合物的浓度，进而提升干燥效率，增强了混合物的张力，保证了水分子能够有效的移除晶圆的表面。