一种长晶炉热能再利用的管道系统
实质审查的生效
摘要

本发明公开了一种长晶炉热能再利用的管道系统,包括用于通入工艺气体的气体管道和用于排出废气的抽空管道,抽空管道套设于气体管道外侧,且气体管道的进气口和出气口均位于抽空管道外。通过抽空管道中的废气对气体管道中的工艺气体进行预热,预热后的工艺气体对炉膛温度的影响更小,避免了充入冷气造成局部过冷,增加了晶体生长的良率,使得热场温度更可控,结果更接近模拟的结果。排出炉膛的废气在经过与冷工艺气体的换热后,在一定程度上降低了温度,再将废气排放减少了对大气的温室效应的不良影响。从结构上看,抽空管道和气体管道为一体式结构,不同于常规分体结构,减少了设备开孔数量,使设备结构更为紧凑。

基本信息
专利标题 :
一种长晶炉热能再利用的管道系统
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114411263A
申请号 :
CN202210040858.5
公开(公告)日 :
2022-04-29
申请日 :
2022-01-14
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
李辉杨茜王守琛苏闻峰
申请人 :
南京晶升装备股份有限公司
申请人地址 :
江苏省南京市经济技术开发区红枫科技园B4栋西侧
代理机构 :
南京苏高专利商标事务所(普通合伙)
代理人 :
张弛
优先权 :
CN202210040858.5
主分类号 :
C30B35/00
IPC分类号 :
C30B35/00  
IPC结构图谱
C
C部——化学;冶金
C30
晶体生长
C30B
单晶生长;共晶材料的定向凝固或共析材料的定向分层;材料的区熔精炼;具有一定结构的均匀多晶材料的制备;单晶或具有一定结构的均匀多晶材料;单晶或具有一定结构的均匀多晶材料之后处理;其所用的装置
C30B35/00
未包括在其他分类位置中的专门适用于单晶或具有一定结构的均匀多晶材料的生长、制备或后处理的装置
法律状态
2022-05-20 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : C30B 35/00
申请日 : 20220114
2022-04-29 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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