一种太赫兹MEMS可重构功分器及其实现方法
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摘要
本发明公开了一种太赫兹MEMS可重构功分器及其实现方法。本发明采用第一和第二矩形波导设置在第一耦合波导的上端，第三和第四矩形波导设置在第二耦合波导的下端，通过第一和第二级联波导连接第一和第二耦合波导构成太赫兹波导功分器，MEMS角度执行器嵌入至第一和第二耦合波导内，通过向MEMS角度执行器的双晶片悬臂梁阵列施加偏置电压控制金属面旋转的角度；通过偏置电压调节MEMS角度执行器的角度，实现太赫兹波导功分器的输出功率比连续可调，同时，在不同的角度下分别具有太赫兹等分功分器、太赫兹10dB耦合器和太赫兹开关的功能；具备功率调节和功能复用的优势，能够应用于太赫兹阵列天线的增益调节、波束扫描和赋形。
基本信息
专利标题 ：
一种太赫兹MEMS可重构功分器及其实现方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114389001A
申请号 ：
CN202210041514.6
公开（公告）日 ：
2022-04-22
申请日 ：
2022-01-14
授权号 ：
CN114389001B
授权日 ：
2022-05-27
发明人 ：
于伟华彭洪吕昕
申请人 ：
北京理工大学;北京理工大学重庆微电子中心
申请人地址 ：
北京市海淀区中关村南大街5号
代理机构 ：
北京万象新悦知识产权代理有限公司
代理人 ：
王岩
优先权 ：
CN202210041514.6
主分类号 ：
H01P5/12
IPC分类号 ：
H01P5/12
法律状态
2022-05-27 ：
授权
2022-05-10 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : H01P 5/12
申请日 : 20220114
申请日 : 20220114
2022-04-22 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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