本发明公开了一种含硅有机废气处理工艺及设备，包括：一、含硅有机废气首先通过碱洗塔进行预处理，去除废气中的酸性组分及油污；二、经过碱洗预处理后的废气通过除雾器去除水汽；三、除雾器出口废气在送风机的作用下进入一次换热器，通过一次换热器的作用将有机废气预热至500～600℃。上述方案中，采用直燃炉形式克服了高温反应产生二氧化硅晶体等颗粒物对多孔性结构堵塞的问题，直燃炉采用折流板形式的布风装置，可有效提高废气的湍流程度，采用一次换热器将废气进气温度预热至500～600℃，以达到节能的效果，热回用率可达到60～80％，一次换热器的换热列管采用纵向布置，底部设置缓冲腔，可有效防止换热列管内部堵塞的问题。