梯度组织Ti-Nb合金薄膜及其制备方法
公开
摘要
本发明公开了梯度组织Ti‑Nb合金薄膜及其制备方法，包括Ti元素和Nb元素组成的四层等厚度薄膜，Nb元素含量自外而内逐层递减，相组成呈现梯度变化。自外而内的第一层薄膜为β相，Nb元素含量为30～34at％，第二层薄膜为β相或α+β相，Nb元素含量为21～26at％，第三层薄膜为+β相，Nb元素含量为14～17at％，第四层薄膜为纯钛；Ti‑Nb合金薄膜的晶粒尺寸为70～130nm。可以结合不同Nb含量钛合金薄膜材料性能优势，达到力学性能和耐腐蚀性能的匹配。
基本信息
专利标题 ：
梯度组织Ti-Nb合金薄膜及其制备方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114561622A
申请号 ：
CN202210043689.0
公开（公告）日 ：
2022-05-31
申请日 ：
2022-01-14
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
潘艳王炳昊张国君
申请人 ：
西安理工大学
申请人地址 ：
陕西省西安市碑林区金花南路5号
代理机构 ：
西安弘理专利事务所
代理人 ：
王丹
优先权 ：
CN202210043689.0
主分类号 ：
C23C14/35
IPC分类号 ：
C23C14/35 C23C14/54 C23C14/14
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/34
溅射
C23C14/35
利用磁场的，例如磁控溅射
法律状态
2022-05-31 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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