本发明公开一种变频氧传感器，包括依次叠设的加热层、第二气体通道层、第二固体电解质层、腔室层、第一固体电解质层、第一气体通道层和敏感电极引脚层；腔室层和第一固体电解质层间有第一公共电极，和第二固体电解质层间有第二公共电极，第一固体电解质层和第一气体通道层间有外电极，第二固体电解质层和第二气体通道层间有内电极，加热层和第二气体通道间有加热器，用于加热外电极、第一公共电极、第二公共电极及内电极；加热层、第二气体通道层、第一气体通道层和敏感电极引脚层材质为氧化铝陶瓷，第二固体电解质层、腔室层和第一固体电解质层材质为氧化锆陶瓷，氧化锆陶瓷中掺杂氧化钇或氧化钪。本发明的变频氧传感器绝缘效果好，不会被击穿。