本发明一种铝合金阳极化真空密封面处理工艺，采用抛光以及激光前处理组合的处理方式，对工件表面进行激光改性。通过对激光功率、光斑形状及移动速度等参数控制对铝合金材料表面改性，通过高能量密度的激光，将铝合金表面层熔化，依靠材料自身快速冷却凝固实现铝合金材料表面局部的快速加热和冷却，从而获得非常致密的非平衡快速凝固组织。经过铝合金阳极化工艺最终能得到外观无缺陷且耐腐蚀性能优良的阳极膜层。适用于半导体真空腔体阳极密封面的改善，适用于高洁净，高耐蚀环境下的阳极处理需求。