一种无氟清洗剂、其制备方法及应用
实质审查的生效
摘要
本发明提供了一种无氟清洗剂,所述无氟清洗剂为水性清洗剂;所述无氟清洗剂包括水、有机溶剂与胺类化合物;所述有机溶剂的质量为无氟清洗剂质量的15%~85%;所述胺类化合物的质量为无氟清洗剂质量的5%~50%;还包括腐蚀抑制剂、酸与醇类化合物中的一种或多种。与现有技术相比,本发明提供的无氟清洗剂通过特定的胺类化合物与腐蚀抑制剂、酸及醇中的一种或多种协同作用在不含有氟元素的情况下也具有较好的清洗能力,同时还可降低清洗液对金属的腐蚀,防止对基底介质产生破坏,提高清洗后晶圆的耐候性。与现有同类产品比,本发明提供的无氟清洗剂具有降低清洗温度、清洗时间以及更高性价比等明显优势。
基本信息
专利标题 :
一种无氟清洗剂、其制备方法及应用
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114317127A
申请号 :
CN202210048666.9
公开(公告)日 :
2022-04-12
申请日 :
2022-01-17
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
张爱强陈婷马克·奈舍卢聪杰罗松松赖委舜
申请人 :
嘉庚创新实验室
申请人地址 :
福建省厦门市思明区思明南路422号亦玄馆410室
代理机构 :
北京集佳知识产权代理有限公司
代理人 :
张雪娇
优先权 :
CN202210048666.9
主分类号 :
C11D1/22
IPC分类号 :
C11D1/22 C11D1/74 C11D3/04 C11D3/20 C11D3/22 C11D3/26 C11D3/28 C11D3/30 C11D3/32 C11D3/34 C11D3/60 C11D7/08 C11D7/26 C11D7/32 C11D7/50 C11D7/60 H01L21/02
IPC结构图谱
C
C部——化学;冶金
C11
动物或植物油、脂、脂肪物质或蜡;由此制取的脂肪酸;洗涤剂;蜡烛
C11D
洗涤剂组合物;用单一物质作为洗涤剂;皂或制皂;树脂皂;甘油的回收
C11D1/00
主要以表面活性化合物为基料的洗涤组合物;使用这些化合物作为洗涤剂
C11D1/02
阴离子化合物
C11D1/12
磺酸或硫酸脂;其盐类
C11D1/22
由芳族化合物衍生的
法律状态
2022-04-29 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : C11D 1/22
申请日 : 20220117
申请日 : 20220117
2022-04-12 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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