静电消除的方法和设备
实质审查的生效
摘要

本发明提供了一种静电消除的方法和设备,包括:实时量测设置于产品载台上的各点位的电压,并根据各电压确定产品载台上存在静电的目标点位的位置坐标;向位置坐标的产品载台喷射静电液,并向位置坐标进行吹气式风干。本发明的方法应用于静电消除设备,集量测电压、自动定位静电位置和消除静电于一体,可以及时发现静电并清除静电,保证产品质量的同时提高了生产效率。

基本信息
专利标题 :
静电消除的方法和设备
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114390763A
申请号 :
CN202210056093.4
公开(公告)日 :
2022-04-22
申请日 :
2022-01-18
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
陈成杨青山
申请人 :
浙江泰嘉光电科技有限公司
申请人地址 :
浙江省湖州市南浔经济开发区洋南村丁堂河
代理机构 :
北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙)
代理人 :
徐丽
优先权 :
CN202210056093.4
主分类号 :
H05F3/00
IPC分类号 :
H05F3/00  G01R19/00  
法律状态
2022-05-10 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : H05F 3/00
申请日 : 20220118
2022-04-22 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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