本发明公开了一种石英管式炉及去除管壁内反应物的方法，包括机身，所述机身的上方设有外壳，所述外壳包括上壳体与下壳体，且二者活动连接，所述上壳体与下壳体之间设有石英管，所述上壳体与下壳体靠近石英管处均设有红外加热管，所述石英管与真空泵电性连接，所述机身上设有控制仪表，加热工件位于石英管内，所述红外加热管呈弧形分布于石英管直径方向的周边；石英管式炉采用红外加热代替电加热，具有加热速度快、设备占地面积小、生产费用低和加热效率高的优点，其节电效果尤其显著，另外管式炉采用石英管材质同样具有导热快，降温快的优点，采用空炉加热的方法能够有效去除石英管内的钛镀膜，提升了工作效率以及红外加热管的寿命。