一种氟化物提纯系统、氟化物提纯系统内的防爆加热器及使用方...
公开
摘要
本发明提供一种氟化物提纯系统内的防爆加热器，包括加热容器和保温套管；所述加热容器外侧套设有保温套管；所述加热容器包括沿着其长度方向设置的上段、中段和下段；所述上段、中段和下段靠近中间的位置均设置有加热检测组件；所述加热检测组件包括配合使用的加热管和防爆传感器；本发明还提供一种氟化物提纯系统的使用方法；本发明加热器做成可拆卸式，方便后期拆装维修，吸附剂填充在内部容器中，氟化物气体也在内部容器流通，与加热器无接触。保证有毒有害气体隔绝，减少泄露可能，加热容器采用上中下三段单独控温，保证温度精准度，AB组防爆加热器组交换使用，增加工作效率。
基本信息
专利标题 ：
一种氟化物提纯系统、氟化物提纯系统内的防爆加热器及使用方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114531745A
申请号 ：
CN202210061075.5
公开（公告）日 ：
2022-05-24
申请日 ：
2022-01-19
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
武晓文李超俊
申请人 ：
杭州量动自动化设备有限公司
申请人地址 ：
浙江省杭州市经济技术开发区白杨街道21号大街600号2幢305室
代理机构 ：
北京中济纬天专利代理有限公司
代理人 ：
张姗
优先权 ：
CN202210061075.5
主分类号 ：
H05B3/02
IPC分类号 ：
H05B3/02 H05B3/06 H05B1/02 B01D53/02
法律状态
2022-05-24 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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