本申请提供一种薄膜沉积建模速率拓展方法、装置、电子设备及计算机可读存储介质。其中方法包括：获取半导体衬底图像；对所述衬底图像进行全域网格化；对所述衬底图像进行边缘检测，得到衬底表面轮廓曲线，并得到所述衬底表面轮廓曲线上所有表面位点的沉积速率；针对每一个空间位点，根据坐标信息确定所述空间位点与每个表面位点之间的直线距离和偏离角度；根据所述偏离角度确定用于对所述空间位点进行速率拓展的决策单元，每个空间位点对应一个决策单元；遍历所述空间位点的决策单元中的表面位点，将沉积时间最短的表面位点的沉积速率拓展至所述空间位点。相较于现有技术，本申请可以实现在任意衬底结构上的沉积速率准确拓展。