一种新型真空腔室用狭缝门阀
公开
摘要

本发明公开了一种新型真空腔室用狭缝门阀,包括阀板结构、驱动机构与防护罩,所述驱动机构包括门阀主轴、拐臂、连接轴与涨紧套,门阀主轴上装有阀板结构,门阀主轴两端通过涨紧套与拐臂连接;所述阀板结构设有多个且其间隔装于门阀主轴上,每一所述阀板结构均包括密封阀板、铰链连接板一、铰链连接板二、铰链连接板三、铰链轴、调节螺丝、隔环、门阀挡圈与O型圈,其中密封阀板上设有用于放置O型圈的燕尾槽,密封阀板后端通过铰链轴装有铰链连接板一、铰链连接板二、铰链连接板三。本发明的狭缝门阀开启采用铰链结构形式,在阀板翻转时通过铰链提升,减少了旋转半径,节省真空室空间。

基本信息
专利标题 :
一种新型真空腔室用狭缝门阀
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114576369A
申请号 :
CN202210062319.1
公开(公告)日 :
2022-06-03
申请日 :
2022-01-19
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
张俊峰赵子东李青山魏庆瑄
申请人 :
上海子创镀膜技术有限公司
申请人地址 :
上海市金山区金山工业区金飞路808号
代理机构 :
上海尊肃专利代理事务所(普通合伙)
代理人 :
李珍珍
优先权 :
CN202210062319.1
主分类号 :
F16K1/20
IPC分类号 :
F16K1/20  F16K1/32  F16K1/46  F16K31/12  
IPC结构图谱
F
F部——机械工程;照明;加热;武器;爆破
F16
工程元件或部件;为产生和保持机器或设备的有效运行的一般措施;一般绝热
F16K
阀;龙头;旋塞;致动浮子;通风或充气装置
F16K
阀;龙头;旋塞;致动浮子;通风或充气装置
F16K1/00
提升阀,即带有闭合元件的切断装置,闭合元件至少有打开和闭合运动的分力垂直于闭合面
F16K1/16
带有装在枢轴上的闭合元件
F16K1/18
带有装在枢轴上的盘或瓣
F16K1/20
旋转轴线配置在阀元件之外
法律状态
2022-06-03 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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