本发明提供了一种光电行业废蚀刻液资源化回收利用方法，包括如下步骤：废蚀刻液主要成分是磷酸、硝酸和醋酸；利用废蚀刻液中各成分沸点不同来分离醋酸和硝酸，蒸发温度控制在70～95℃，采用蒸汽管间接加热，硝酸、醋酸和水以混合蒸汽的形式分离出来，余下的则为磷酸浓缩液；本发明提出了一种资源化综合利用的工艺方案：废铝蚀刻液通过减压蒸馏、过滤、树脂吸附、中和反应、冷却结晶、离心分离和烘干等工序，可以生产出满足国家和行业质量标准的磷酸、磷酸氢二钠、醋酸和硝酸钠产品，满足危险废物鉴别法律法规中不属于危险废物的要求，可免于危险废物鉴别，能直接进行销售。